電子無(wú)塵室/潔凈室檢測產(chǎn)品概述：

 電子無(wú)塵室/潔凈室檢測

電子無(wú)塵室/潔凈室檢測項目和標準

檢測方法 

1.風(fēng)量或風(fēng)速

1）對于單向流潔凈室,應采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,并應取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格,每個(gè)柵格尺寸應為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸,測點(diǎn)應在柵格中或不應少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測試時(shí)間不應少于10s。應記錄平均值、大值和小值,并應以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2）對于非單向流潔凈室,每一點(diǎn)的測試時(shí)間不應少于10s。

3）在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處,應采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量,每個(gè)測試位置的測點(diǎn)數不應少于3點(diǎn)。 

2.靜壓差

1）靜壓差的測定應在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。

2）儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。

3）潔凈廠(chǎng)房有多個(gè)潔凈室(區)時(shí),應從里面的房間與相鄰房間的壓差測試開(kāi)始,并應按順序向外進(jìn)行檢測。

3.高效過(guò)濾器檢漏

1）儀器應使用采樣量大于1l/min的光學(xué)粒子計數器。

2）應在過(guò)濾器上風(fēng)側引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側應用粒子計數器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動(dòng)。應檢測包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。 

4.懸浮粒子數-塵埃粒子計數器

1）應使用采樣量大于1l/min光學(xué)粒子計數器,應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書(shū)。

2）少采樣點(diǎn)應按下式計算:

NL=A0.5

式中NL---------少采樣點(diǎn)

A-----------潔凈室或被控潔凈區的面積(m2)。

采樣點(diǎn)應均勻分布于潔凈室(區)的整個(gè)面積內,并應位于工作區的高度。

3）每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應按下式確定:

Vs=（20/Cn，m）x100

式中Vs------每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量,以l表示,當V很大時(shí),可使用順序采樣法。每個(gè)采樣點(diǎn)的小采樣時(shí)間為1min,采樣量應至少為2l

Cn.m------被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(p/m3);

20------在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時(shí),可測到的粒子顆數(顆)。

4）當潔凈室(區)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí),則在該點(diǎn)應至少采樣3次

5.氣流流型

◆氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。

◆氣流目測法有示蹤線(xiàn)法、示蹤劑注入法,并應用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。

◆示蹤線(xiàn)法應為通過(guò)觀(guān)察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。

◆示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強度光源下進(jìn)行觀(guān)察或做成圖像。

◆應采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測,本法一般是與示蹤結合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

◆氣流目測的測點(diǎn)位置、儀器等,應根據潔凈室(區)的具條件洽商確定。   

6.溫度、相對濕度

1）溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室(區)內氣流分布均勻狀態(tài)測試,并應在凈化空調系統試運轉合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調系統已經(jīng)運轉,并應至少穩定運行1.0h后運行。

2）相對濕度檢測應將潔凈工作區劃分為等面積網(wǎng)格,每格大面積應為100m2,應每格一個(gè)測點(diǎn),但每個(gè)房間不應少于2個(gè)測點(diǎn)。

3）檢測用探測器應設在潔凈室(區)內的工作高度,且距潔凈室(區)的吊頂、墻和地面不應少于300mm。并應考量潔凈室(區)內可能存在的熱源的影響。

4）檢測時(shí)間應至少1.0h,并應至少6min進(jìn)行1次(30s)讀數,記錄。

7.噪聲

1）潔凈室(區)內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。

2）潔凈室(區)內的噪聲檢測點(diǎn)應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點(diǎn)宜距地面1.1~1.5m,距墻應大于3m;檢測點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區)面積均分,宜每100m2設一檢測點(diǎn)   

8.照度

1）潔凈室(區)內照度檢測宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計。

2）照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進(jìn)行。潔凈室(區)照度檢測不應包括生產(chǎn)設備等的局部照明和備用照明。

3）照度檢測點(diǎn)應設在工作高度,宜距地面0.85m,應每25m2設一個(gè)測點(diǎn)。

9.自?xún)魰r(shí)間

1）自?xún)魰r(shí)間檢測,宜用于非單向流潔凈室。

2）自?xún)魰r(shí)間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數器進(jìn)行檢測,同時(shí)應符合下列要求:

◆以大氣塵為基準時(shí),則必須將潔凈室停止運行相當時(shí)間在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測出潔凈室內靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機,定時(shí)讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復到原來(lái)的穩定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。

◆以人工塵源為基準時(shí),應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機,方法同上。

◆由初始濃度(N)、室內達到穩定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(n),可得到計算自?xún)魰r(shí)間(t0),與實(shí)測自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對比如果t≤1.2t0,為合格。

◆自?xún)魰r(shí)間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測方法應洽商確定。

10.密閉性檢測

1）密閉性檢測或稱(chēng)抑制滲漏測試,是測定潔凈室(區)有無(wú)受污染的空氣從周?chē)哂邢嗤虿幌嗤o壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區)或非潔凈室(區)侵入。本檢測一般用于ISO1~5級潔凈室(區)。

2）采用粒子計數器法檢測潔凈室(區)的密閉性,檢測時(shí)應先測量緊靠被測圍護結構表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應比潔凈室(區)內濃度大104,并大于等于3.5×106個(gè)/m3待測粒徑的粒子。

3）潔凈室(區)的施工接縫,包括對墻板、吊頂的接縫和管線(xiàn)、燈具等的接縫的滲漏檢測，應在被測部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。

潔凈室敞開(kāi)門(mén)處的滲漏檢測,應在距離門(mén)0.3~3.0m處測定潔凈室內的懸浮粒子濃度。記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數和位置。

11.懸浮微生物的采樣

1）采用無(wú)源采樣裝置,如培養皿。采用有源采樣裝置,如撞擊采樣器、離心采樣器、過(guò)濾采樣器。

2）空氣潔凈環(huán)境中懸浮微生物的靜態(tài)或空態(tài)檢測前,應對各類(lèi)表面進(jìn)行擦拭消毒,但不得對室內空氣進(jìn)行熏蒸、噴灑之類(lèi)的消毒。動(dòng)態(tài)檢測均不得對表面和空氣進(jìn)行消毒。層包裝保護培養皿,以防污染。當潔凈度很高，或預期含菌濃度可能很低時(shí)，采樣量應大于小采樣量很多，以滿(mǎn)足減少計數誤差的要求。